使用场景：此产品用于存储高纯度特种气体（如SiH₄硅烷、PH₃磷化氢、NH₃氨气、ClF₃三氟化氯等），并

                通过气体管路输送至机台设备。

主要功能：

1.纯度保障：气体柜内壁采用316L不锈钢或EP级抛光，防止气体污染；

2.防泄漏设计：双层壳体+负压监测，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s；

3.压力控制：集成压力调节阀（MFC），维持恒定供气压力（如0.1-0.5MPa）。